Ｐ／Ｎ ：UDX5107N 品名 ：VEXTA 5PHASE DRIVER メーカー ：オリエンタルモーター 不具合内容：真空ロボットでR軸ステッピングモーター異常が発生する。
修理内容 ： コンデンサ、フォトカプラ、三端子レギュレーターの交換。
