P/N :IRI-02034-2-0 品名 :スリットゲートバルブ メーカー :V-TEX 不具合内容:ヒーター切れ。
修理内容 : クリーニング。Oリング、ベアリング、パッキン、ベローズ、ウレタンパッド、ヒーター熱電対ASSYの交換。