Ｐ／Ｎ ：IG6200-WIB 品名 ：イオンゲージコントローラー メーカー ：ULVAC 不具合内容：IG ON…E-3Torr IG OFF…E-5Torr
修理内容 ： 故障が判明した、電子パーツと経年劣化が見られるFANを交換しました。
