半導体製造装置の修理なら株式会社ピアテクニカル

Ｐ／Ｎ　　：FC-261J
品名　　　：マスフローコントローラー
メーカー　：アエラ
不具合内容：流れない。OUT出力異常。

修理内容　： バルブ、Oリング、バイパス、センサー等の交換。動作確認。