半導体製造装置の修理なら株式会社ピアテクニカル

Ｐ／Ｎ　　：02-312735-00
品名　　　：VECTORスピンドル
メーカー　：NOVELLUS
不具合内容：動作不良

修理内容　： 各部洗浄および劣化の確認された部品の交換を行いました。