実績 | 真空機器、モーターも修理やオーバーホール、老朽化装置の診断なら株式会社ピアテクニカル

モーター、ドライバー共に修理対応を行い、動作確認まで行います。

CANON露光装置用シャッタユニット

動作試験冶具

P/N:BR-4500-3017-B
単体動作はできませんので、ベアリング交換、レゾルバ―調整を行い、実機にて確認となります。

P/N:EC80-000191-11

P/N：RHS-25-6012-BE020BL

試験冶具、テストベンチの製作も行っております。
モーター動作試験冶具

磁性流体シール　リークテストベンチ　モーター駆動で回転させながらHeリークテストを行います。

真空中の昇降動作機構用のテストベンチ。ストローク量に応じチャンバーを作製し、リークテストができるように作製。

MR-J2S‐10A　他

内部部品交換後、モーターにつなぎ動作確認します。